FlatMaster MSP300平面度儀平坦度儀

• 更新時(shí)間：2023-12-22
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FlatMaster MSP300平面度儀平坦度儀
美國康寧Flatmaster MSP300平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量。FLATMASTER 300平面度測(cè)量儀可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量，超過20年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺(tái)的裝機(jī)量。

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美國康寧Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度儀也稱為平面度測(cè)量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測(cè)量。通過非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的 數(shù)據(jù)。Flatmaster MSP-300平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量。FLATMASTER 300平面度測(cè)量儀可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量，超過20年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺(tái)的裝機(jī)量。

       美國FlatMaster MSP-300平面度測(cè)量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160  多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程工藝領(lǐng)域的知識(shí),  美國康寧CORNING平面度測(cè)量儀品牌創(chuàng)造并生產(chǎn)出了眾多被用于高科技消費(fèi)電子、移動(dòng)排放控制、通訊和平板顯示等科 學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)品的關(guān)鍵組成部分。

測(cè)量300毫米玻璃和硅晶片的平面度，厚度和厚度變化的能力對(duì)于成功集成3DIC組件非常重要。 傳統(tǒng)的接觸式探頭或傳統(tǒng)的干涉測(cè)量系統(tǒng)太慢，或者對(duì)于較大的視野而言沒有必要的精度。 Tropel®FlatMaster®MSP-300（平面度測(cè)量儀）是一種****，可為300毫米玻璃和硅晶片提供快速，準(zhǔn)確的測(cè)量。 在幾秒鐘內(nèi)，以亞微米的精度收集了超過300萬個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，從而能夠表征整個(gè)表面的總厚度和平坦度

測(cè)量多種不同指標(biāo)：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度
/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統(tǒng)：
?三維/ 拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑
切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、 快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定且靈活的測(cè)量

技術(shù)參數(shù)：
   ?    重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
   ?    分辨率：5nm （0.2μ″）
   ?    可測(cè)量工件尺寸：5mm-300mm
   ?    動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>100um
   ?    測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000
   ?    測(cè)量時(shí)間：5秒
   ?    電源：～220V 50Hz